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        产品及应用

        晶圆激光切割机

        产品介绍

        利用热应力传导效应,采用优异的紫外激光器、配合全自动精确定位与检测系统,对硅晶圆表面进行快速切割。切口质量精细,热影响小。

        QQ咨询
        产品特点

        多种激光运行模式与光束整形,保证切口质量和效率

        独有的波前校正技术确保高精度加工和一致性

        自动定位、自动调焦、自动检测,保证生产良率

        可实现大图形自动分切或手动分切选择,拼接精度高达 ±1um

        支持翘曲片、TAIKO 片传片


        应用产品类型

         硅晶圆、TAIKO 环

        技术指标
        规格型号WLP30-15/30
        激光波长355nm
        激光输出功率15/30W
        加工方式扫描式与直线平台 / 旋转平台组合运动,自动图形拼接
        定位精度±1um
        加工精度±15um
        晶圆尺寸6/8/12inch


        应用案例

        Si 基 TAIKO 片切割工艺,以及晶圆切割、划片。

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        Chengdu Laipu Technology co.,LTD蜀ICP备18037246号-1

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